貴州航天電器申請微納多層膜型薄膜傳感器及制造方法專利

  ICC訊 2024年4月12日，據國家知識產權局公告，貴州航天電器股份有限公司申請一項名為“一種微納多層膜型薄膜傳感器及制造方法”，公開號CN117870886A，申請日期為2023年12月。

  專利摘要顯示，本發明公開了一種微納多層膜型薄膜傳感器及制造方法，所述微納多層膜型薄膜傳感器包括襯底、薄膜A和薄膜B，所述襯底外設置電極層，所述薄膜A和薄膜B設置在襯底上。本發明的制備方法可以在不借助先進光刻工藝及刻蝕工藝的情況下實現納米級電阻電路的精確制備，并且采用疊層的方法，極大的減少了功能層在襯底上所占的面積，使其寬度方向僅受切割方式的影響。有效的增加了膜型傳感器的功能層面積，大幅減小體積，增加傳感器精度，擴展了薄膜類傳感器使用空間下極限。